Konstrukcje zaworów regulujących ciśnienie o przepływie krzyżowym są atrakcyjne dla zastosowań związanych z kontrolą ciśnienia o wysokim przepływie ze względu na zmniejszoną wymaganą siłę aktywacji i zmniejszoną powierzchnię zajmowaną przez urządzenie. Wytworzono zasuwę nożową, regulującą przepływ 1,3 Nl/min przy ciśnieniu zasilania 1,5 bara. Zawór został mikrowytworzony przy użyciu głębokiego reaktywnego trawienia jonowego (DRIE) i fuzji krzemowej. Zastosowanie mikrozaworów nożowych obrabianych maszynowo w systemach kontroli ciśnienia zwiększa wydajność i umożliwia uzyskanie oszczędności kosztów.
Popularne Produkty
Wyślij zapytanie